PingWest品玩6月1日讯，据荷兰半导体设备制造商艾斯摩尔（ASML）公司宣布，他们已经在近日完成了第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000的测试。

据悉，HMI eScan1000能够同时产生、控制九道电子束用于检测，与传统的单电子束检测机相比，吞吐量能提高600%。这台机器目前已经交由客户鉴定。